フレキシブル軸継手 MSXP-C

スパイラル軸用ステッピング モーター用

MSXP-Cは樹脂製のスプリングカップリングで、一体型構造になっています。 円筒状の素材にスリットを入れています。スリットで形成された板ばねにより、偏心、角ずれ、端部の遊びなどを許容します。 FPD/半導体製造装置など、耐熱性や耐薬品性が要求される環境やクリーンルームでの使用が可能です。 物理的・化学的特性に優れたエンジニアリングプラスチックPEEKを採用。 アウトガス量が極めて少ない。電気的に絶縁されています。 クリーンルーム洗浄、クリーンルーム用パッキンを標準装備。 用途 FPD製造装置 / 半導体製造装置 / 超高真空(UHV) お見積もりをご希望の方は、お気軽にお問い合わせください。