濃度監視システム Q-MACS MC

加工測定用光学式

Q-MACSプロセスMCは、エッチング、蒸着、窒化プラズマプロセスなどの工業プロセスをその場でオンライン測定するポータブルモニタリングシステムです。実績のあるQ-MACSベーシックテクノロジーをベースにしています。このin situ測定システムは、赤外吸収分光法を用いてプロセスチャンバー内の絶対分子濃度を測定します。プロセスリアクターへの光学接続は、標準的な真空フランジを介して行われます。 閉じた光路を持つシステム 1～4個のレーザーを装備 ppbレンジまでの感度 ミリ秒までの時間分解能 Q-MACSプロセスMCには、システムの操作に必要なすべての機器とソフトウェアが含まれています。