ウェハー用計量システム The Atlas XP+

Atlas薄膜・OCDシリーズは、最先端のFinFET、ゲートオールアラウンド（GAA）FET、3D NAND、先端DRAMデバイス製造のための測定装置です。 Atlas XP+ システムは、200mmウェーハの薄膜測定とOCD測定の両方を1台の装置で行うことができます。このシステムは、デュアルアームロボット、高精度ステージ、高速フォーカスシステムを内蔵しています。また、高度なパターン認識、膜厚再現性の向上、優れたSRとSEのスループットを特徴としています。N2000™ソフトウェア・インターフェースと高度な自動化は、SEMIやその他の団体で採用されている規格に準拠しています。N2000分析プラットフォーム・ソフトウェアのネットワーク・コンポーネントであるNanoNet®機能は、システム間のマッチングとシームレスなレシピの移行を実現します。