リニアナノ位置決めステージ NHC 50 seriesXY圧電2軸

リニアナノ位置決めステージ
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特徴

方向
リニア, XY
タイプ
圧電
軸の数
2軸
その他の特徴
小型, -翻訳中-, 統合玉循環リニア軸受, バックラッシュなし, ボールねじ式
ストローク

50 mm (1.969 in)

速度

0.008 m/s (0.026246719 ft/s)

詳細

NANO-HYBRID XY STAGES NHC 50 新しいNHCナノハイブリッドXYステージは、顕微鏡およびレーザー干渉測定アプリケーションで必要とされるため、XY方向の高精度位置決めを必要とするアプリケーション向けに開発されました。 放射光アプリケーション向けに、NHCは50×50mmの二乗口径を提供し、移動範囲全体に保持されます。 ステップモータを備えたスピンドル駆動の確立された機構は、非常に高い負荷容量とモーメントを保証します。 圧電アクチュエータと高分解能リニア測定システムの統合により、非常に高精度で高精度な分解能を実現できます。 これにより、新しいOWISポジショニング生成のXYステージは、一般的なナノポジショニングシステムでは実現できなかった高負荷および長距離走行において最高の精度を必要とするアプリケーションでの使用に最適です。 ナノハイブリッドXYステージは、マイクロポジショニングシステムとナノポジショニングシステムの両方の特性を提供します。 基本部品は高強度アルミニウム製です。 アルミニウム部品の最高品質の黒陽極酸化保護コーティングは、反射や迷光をほぼ完全に防止します。 2相ステップモータとピエゾアクチュエータを備えたハイブリッド技術のポジショ ニング段階、ナノメートル範囲での高精度の位置決めは、予めロードされた再循環ボールベアリングガイドによる バックラッシュフリーボールスクリュー 特にフラットおよび OWISid搭載のホール効果リミットスイッチ一体型リニア測定システムによる透過光アプリケーション向けのコンパクトな設計の大口径

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。