ルーツ真空ポンプ A 200 L

多段コンパクト高性能

A 100 Lの設計に基づいて、A 200 Lは、より高いポンプ容量と非常に高いポンプサイクルを満たしています。現場での予防保全を必要とせず、195,000時間以上のMTBFでA 100 Lと同等の信頼性を実現しています。 用途 - 半導体産業におけるロードロックチャンバー、トランスファーチャンバー - 太陽光発電アプリケーションにおけるロードロックとスパッタリングチャンバー - 基礎研究室での極低温の応用と利用 - 産業（極低温、ガスメーカー、レーザー光源 顧客価値 - 高性能 - 信頼できる - エネルギー効率の高い - コンパクト - スタック可能 - 低振動・低騒音 - プラグアンドプレイシステム：統合モニタリング - オプションのRS-232/RS-485インターフェイス 製品の説明 - 小負荷ロックのポンピングサイクル周波数が高い - 高揚水速度 200 m3/h