クリーンルーム用監視システム APA 302

環境用

APA 302は、クリーンルーム環境での高度なチップ製造のためのユニークなインラインモニタリングツールです。この革新的な装置は、FOUP内および周辺環境の空気中分子汚染（略してAMC）を測定します。測定は、ppbv範囲の高感度でリアルタイムに行われます。 効率的な汚染モニタリング フッ化水素（HF）のような水分や空気中の分子汚染（AMC）は、キュータイム中にFOUPのスロット間空間に放出されます。これらの元素は、歩留まりの低下や性能の低下につながるパターニングされたウェーハ上で結晶成長を発生させる可能性があります。 Pfeiffer VacuumによるAPA 302は、FOUPフィルターを通してAMCをサンプリングしています。測定は、イオンモビリティ分光法、火炎イオン化検出、蛍光UVまたはキャビティリングダウン分光法を介してppb領域の高感度で2 mnで行われます。ロードポートにFOUPがない場合、APA 302は周囲のクリーンルーム環境を監視します。 FOUP環境の信頼性の高い分析 性能を保証するために、SEMI S2/S8準拠のAPA 302は、一定間隔で作動するオートキャリブレーション機能を備えています。ＡＰＡ内のＡＭＣの監視は、ウェハの有無にかかわらず、ＰＯＤ内で実行することができる。ＦＯＵＰは、手動で、または２つのロードポート上のオーバーヘッドホイスト輸送（ＯＨＴ）を介して配送することができる。このようにして、個々のプロセスステップ間の待ち時間を最適化し、汚染の増加値を即座に認識し、歩留まりを向上させることができます。