XYポジショニングステージ / XYZ / Z軸 / 圧電
P-620.1, P-629.1 series

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XYポジショニングステージ XYポジショニングステージ - P-620.1, P-629.1 series
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特徴

  • 方向:

    XY, XYZ, Z軸

  • タイプ:

    圧電

  • その他の特徴:

    精密, 真空対応, 屈折式, 摩擦なし誘導

  • ストローク:

    最大: 1,800 µm

    最少: 50 µm

詳細

トラベル範囲 50 ~ 1800 µm
分解能 0.1 nm
リニアリティ誤差 0.02%
X、XY、Zバージョン; XYZ 組み合わせ可能な
真空互換バージョン 10 ~ 9 hPa
PICMA® ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命
PICMA® ピエゾアクチュエータは全セラミック絶縁されています。 これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障からそれらを保護します。 PICMA® アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べて最大 10 倍の寿命を提供します。単一故障のない1,000 億サイクルが実証されています。

ゼロプレイのフレクチャーガイドによる高いガイド精度
のフレクチャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。 その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動に敏感ではありません。 100 % 真空互換性があり、広い温度範囲で動作します。

洗練された真空用途
に最適ピエゾシステムで使用されるすべての部品は、真空用途に最適です。 操作に潤滑剤やグリースは不要です。 ポリマーフリーのピエゾシステムは、特に低い外気率を可能にします。

これは自動翻訳です  (英語の原文を読む)