XYナノ配置システム / リニア / 圧電性
P-750 series

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XYナノ配置システム XYナノ配置システム - P-750 series
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特徴

  • 軸の数:

    XY

  • 構造:

    リニア

詳細

-1nm 横方向ガイド精度
-摩擦のない高精度フレクチャーガイドシステム
-10kgまでの負荷容量
-分解能 < 1nm
-最高の精度のための静電容量式センサによる
直接測定-高速応答のための直接駆動
-トラベル範囲 75µm
-PICMA® ピエゾによる卓越した寿命 アクチュエータ

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