Z軸ナノ位置決めステージ / 圧電 / 小型 / 高精度
P-612.Z series

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Z軸ナノ位置決めステージ Z軸ナノ位置決めステージ - P-612.Z series
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特徴

  • 方向:

    Z軸

  • タイプ:

    圧電

  • その他の特徴:

    小型, 高精度, -翻訳中-, 摩擦なし誘導

  • ストローク:

    100 µm, 110 µm

詳細

-トラベル範囲 100 µm
-分解能 0.2 nm
-直線性誤差 0.2%
-コンパクト: フットプリント 60 mm x 60 mm
-費用対効果の高いコントローラ/ピエゾメカニクスシステム
-摩擦のない高精度フレクチャーガイドシステム
-PICMA® ピエゾアクチュエータによる抜群
の寿命
干渉
顕微鏡

ノポジショニングバイオテクノロジー
試験手順と品質保証
半導体技術

自由度ゼロプレイによる高いガイディング精度フレックスガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。 その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動に敏感ではありません。 100 % 真空互換性があり、広い温度範囲で動作します。

これは自動翻訳です  (英語の原文を読む)