XYナノ位置決めステージ P-517, P-527 seriesXYZ圧電3軸

XYナノ位置決めステージ
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特徴

方向
XY, XYZ
タイプ
圧電
軸の数
3軸
その他の特徴
顕微鏡, サブナノメーター ソリューション機能
ストローク

100 µm, 130 µm, 200 µm, 250 µm

詳細

-2 軸および3 軸バージョン(XYおよびXYθZ) -200 µmの移動範囲 -サブナノメータ分解能 PICMA® ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 PICMA® ピエゾアクチュエータは、すべてセラミック絶縁されています。 これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障からそれらを保護します。 PICMA® アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べて最大 10 倍の寿命を提供します。単一故障のない1,000 億サイクルが実証されています。 ゼロプレイのフレクチャーガイドによる高いガイド精度 のフレクチャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。 その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動に敏感ではありません。 100 % 真空互換性があり、広い温度範囲で動作します。 並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度 すべての自由度が単一の固定基準に対して測定されます。 別の軸への望ましくないクロストークは、(帯域幅に応じて)リアルタイムで積極的に補正することができます(アクティブガイド)。 ダイナミック動作でもナノメートル範囲で高いトラッキング精度を実現します。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。