リニアポジショニングステージ / 圧電 / 単一軸 / ミニチュア
Q-522 Q-Motion® series

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リニアポジショニングステージ リニアポジショニングステージ - Q-522 Q-Motion® series
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特徴

  • 方向:

    リニア

  • タイプ:

    圧電

  • 軸の数:

    単一軸

  • その他の特徴:

    ミニチュア, 顕微鏡

  • ストローク:

    6.5 mm, 13 mm, 26 mm (0.256 in)

  • 速度:

    0.01 m/s (0.032808399 ft/s)

詳細

幅22のmmだけおよび高さ10のmm
1つまでのnmの決断の増加エンコーダーとの直接位置の測定
最低の増加動き2までnm
アダプターのないX-Y土台
アダプターなしで取付け可能なQ-622回転段階
利用できる10-6 hPa、版への10-9 hPaに真空のために適した

圧電気の慣性ドライブ
Piezo慣性ドライブは比較的高い把握力が付いているスペース節約および現実的なpiezoベースのドライブおよび事実上無制限旅行範囲である。慣性ドライブ主義は特別な運転者の電子工学によって提供される変更された鋸歯の電圧と制御される単一の圧電気のアクチュエーターに基づいている。アクチュエーターはゆっくり拡大し、ランナーを動かす。慣性が原因で、ランナーはアクチュエーターのそれに続く速い収縮に続いてなく、位置に残る。20までのkHzの動作周波数を使って、ランナーで直接機能するドライブおよび最高の速度を達成するため。10 mm/s。

真空および非磁気環境
Q-Motion®のすべての線形段階は10-6 hPaに高真空の操作のために適している。なお、超高真空の変形は10-9hPaのためにまた利用できる。非磁気版は要求あり次第利用できる

これは自動翻訳です  (英語の原文を読む)