XYナノ位置決めステージ P-733.2 seriesXYZ圧電高速

XYナノ位置決めステージ
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参考価格 

特徴

方向
XY, XYZ
その他の特徴
高速, 高精度, 摩擦なし誘導, 真空対応, 非磁性
ストローク

30 µm, 33 µm, 100 µm, 115 µm

詳細

-X、Y、Z 軸で100 µm × 100 µm の移動範囲 -静電容量式センサーで0.1nmの分解能 -ダイレクトドライブ付きの高速バージョン -真空互換および非磁性バージョン -ダイナミクスと優れた多軸精度のためのパラレルキネマティクス -アクティブ用パラレルメトロジー 軌道制御 -摩擦なし、高精度フレクシャー誘導システム -透過光 アプリケーション用クリアアパーチャ50mm × 50mm 適用分野 走査顕微鏡 共焦点顕微鏡 マスク/ウエハ位置決め 表面測定技術 ナノインプリンティング 微小操作 画像処理/安定化 高い平坦度と動きの真直度を備えたナノポジショニング PICMA® ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 PICMA® ピエゾアクチュエータは、すべてセラミック絶縁されています。 これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障からそれらを保護します。 PICMA® アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べて最大 10 倍の寿命を提供します。単一故障のない1,000 億サイクルが実証されています。 静電容量式 センサによるサブナノメータの分解能静電 容量式センサは、接触せずにサブナノメータの分解能で測定します。 動作の優れた直線性、長期安定性、およびkHz 範囲の帯域幅を保証します。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。