XYZナノ位置決めステージ P-561, P-562, P-563 series圧電高精度摩擦なし誘導

XYZナノ位置決めステージ
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参考価格 

特徴

方向
XYZ
その他の特徴
高精度, 摩擦なし誘導, 真空対応
ストローク

15 µm, 45 µm, 100 µm, 200 µm, 300 µm

詳細

-応答性と多軸精度を向上させるパラレルキネマティクス/計測 -300 x 300 µmまでの移動範囲 -静電容量式センサによる最高の直線性と安定性 -摩擦なし高精度フレクスチャガイドシステム -優れたスキャン平坦性 -高ダイナミクスXYZバージョン 利用可能 -クリアアパーチャ66mm x 66mm -PICMA® ピエゾアクチュエータによる優 れた寿命-UHVバージョン10-9hPa® ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 PICMA® ピエゾアクチュエータは、すべてセラミック絶縁されています。 これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障からそれらを保護します。 PICMA® アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べて最大 10 倍の寿命を提供します。単一故障のない1,000 億サイクルが実証されています。 ゼロプレイのフレクチャーガイドによる高いガイド精度 のフレクチャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。 その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動に敏感ではありません。 100 % 真空互換性があり、広い温度範囲で動作します。 並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度 すべての自由度が単一の固定基準に対して測定されます。 別の軸への望ましくないクロストークは、(帯域幅に応じて)リアルタイムで積極的に補正することができます(アクティブガイド)。 ダイナミック動作でもナノメートル範囲で高いトラッキング精度を実現します。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。