XYZポジショニングステージ P-587圧電6 軸高精度

XYZポジショニングステージ
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参考価格 

特徴

方向
XYZ
軸の数
6 軸
その他の特徴
高精度, 摩擦なし誘導
ストローク

200 µm, 800 µm

詳細

-X、Y、Z、θX、θY、θZ -800 µm × 800 µm × 200 µmのリニアレンジ -最大 1mradの回転角度 -応答性と多軸精度の向上:パラレルキネマティクス/計測 -最高の直線性を実現する静電容量式センサ による直接計測-優れた寿命 PICMA® ピエゾアクチュエータ -摩擦なし、高精度フレクチャーガイドシステム - アプリケーション 干渉測定の6つの自由度分野でアクティブな軌道制御 メトロロジー ナノインプリンティング 半導体テスト 容量式サブナノメータ分解能 センサ 静電容量式センサは、接触することなく、サブナノメータの分解能で測定します。 動作の優れた直線性、長期安定性、およびkHz 範囲の帯域幅を保証します。 自動コンフィグレーションと迅速なコンポーネント交換 メカニックとコントローラを必要に応じて組み合わせることができ、迅速に交換できます。 すべてのサーボおよび線形化パラメータは、力学のSub-DコネクタのIDチップに保存されます。 デジタルコントローラのオートキャリブレーション機能は、コントローラのスイッチがオンになるたびにこのデータを使用します。 洗練された真空用途 に最適ピエゾシステムで使用されるすべての部品は、真空用途に最適です。 操作に潤滑剤やグリースは不要です。 ポリマーフリーのピエゾシステムは、特に低い外気率を可能にします。

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カタログ

*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。