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- 真空コーティング システム
- Plasma Parylene Systems
真空コーティング システム Series 100
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特徴
- 特性
- 真空
詳細
プロセスチャンバーを交換可能なグッドバリューシステム。
寸法 -
長さ：850mm 幅：900mm 高さ：1600mm
重量: -
80kg
容積: - 30リットル
30リットル
プロセスチャンバー
カスタムチャンバーサイズ（Ø300mmから対応可能）
冷却装置: - 4リットル
4リットル (電気機械式クールトラップ)
真空接続
DIN 25 ISO-KF
排気口: - 電気ソレノイドバルブ
電磁ソレノイドバルブ
ポンプシステム： -
10m³/h
電気接続： -
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
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