酸素分析器 EXTREL™ VeraSpec™ APIMS

COCH4水用

当社の EXTREL™ VeraSpec™ 大気圧イオン化質量分析計 (APIMS) は、半導体やその他のハイテク産業アプリケーションで使用される超高純度 (UHP) ガス中のコンタミネーションコントロールのための、信頼性と再現性の高い低パーテリリオン検出限界用に設計されています。 コンタミネーションはコストがかかるため、APIMSは20年以上にわたり、混合ガス中の低レベル成分をオンラインで検出するための研究および工業標準となっています。当社のVeraSpec APIMSは、半導体ガス分析において、最高のパフォーマンス、信頼性、アップタイムを実現するために、19mmの3重フィルター4重極マスフィルターを採用しています。 バルクガス分析における業界最高の検出下限（LDLs） 微量O2、H2、H2O、CH4、CO、CO2、Xeなどを含むバルクガス中のすべての重要な不純物のリアルタイム、複数種モニタリング 定評ある強力な質量分析技術 独自のデュアルソースイオン化構成によるPPTから100%までの比類ない測定範囲 半導体メーカーは、プロセスガスの純度をリアルタイムで継続的に検証し、1兆分の1（ppt）以下の濃度で微量汚染を検出する能力を必要としています。 ほとんどのアプリケーションで要求される長期再現性を提供する安定性で、広範囲のガスと混合ガスをモニターします。 ストリームスイッチャー機能付きAPIMS SX5についてはお問い合わせください。