自動可動システム SYZ-VI-B

連続横型縦型

ウェーハを石英ボートからカセットにアンロードしたり、カセットから石英ボートにロードしたりする、ウェーハのローディング＆アンローディングを統合しました。1つのスロットに2枚のウエハを並べて片面拡散を実現したり、1つのスロットに1枚のウエハを並べて両面拡散を実現したりすることができます。ウェーハの連続ロード/アンロードにより、連続生産を保証することができます。また、ウェーハのロード/アンロードのみに使用することも可能です。 - ウェーハのロード/アンロードには6軸リフトを採用し、信頼性の高いピッキング/プレースメントを実現しています。 - 石英ボートの動的な位置を検出する精密な検出コンポーネントにより、位置決めを修正します。 - アンロードプロセスの前に冷却システムがあり、高温によるウェハーや機器への悪影響を避けることができます。 - 櫛、グリッパーは特殊な加工技術を採用しており、ウェハーの傷を大幅に減らすことができます。 - カセットは縦型と横型があり、お客様のニーズに合わせて柔軟に選択できます。 - MES機能、シート抵抗検出機能、AGV機能はオプションです。