自動可動システム SMZ-IV

モジュラーインラインウェーハ

インライン装置は、1台または2台のボートとボートのインターフェイスPECVD装置と統合することができ、グラファイトボートとウェハーのロード＆アンロードの自動搬送を実現します。本装置はPECVD工程の前後の工程に適用でき、カセットからグラファイトボートにウェハーをロードし、グラファイトボートをPECVD装置に搬送する、または処理されたボートを本装置に搬送し、グラファイトボートからカセットにウェハーを自動的にアンロードすることができます。 - モジュール設計により、1台または2台のPECVD装置とインラインで統合できます。 - PC制御、タブレットコンピュータ操作により、操作が簡単で分かりやすい。 - オンラインマイクロクラック検出、膜厚検出、カラー検査システム、NGウェハー自動処理（別途料金）。 - インライン/オフライン構成。 - AGV、RFIDシステム、MES機能オプション対応。