ウェーハの表面にAlとAgのペーストをスクリーン印刷法で印刷し、乾燥・焼成後に正・負の電極となります。
ローディング→リアバスバー印刷→乾燥→BSF印刷→フロントバスバー印刷→乾燥→フロントダブル印刷→乾燥&焼成→テスト&ソーティング
- CT:182mm, CT<1.0s ;210mm, CT<1.05s.
- 高速回転のDDモーターを使用し、4つの紙巻き取りテーブルを備えているため、ウェハの出し入れを素早く完了することができ、250ms以内にターンテーブルを実現することができます。
- スキージヘッドは、ダイレクトドライブボイスコイルモーターの構造を採用し、実圧モードを実現し、実圧監視を実現することができます。
- 高精度のカメラアライメント、独立した知的財産権のキネマティクスキャリブレーションアルゴリズム、高精度のアライメントを実現します。
- 自動ペースト添加、自動ウェットウェイト計量、オンライン印刷品質モニタリング(AOI)によるロスコントロールを実現(オプション)。
---