化学研磨機 SC-LSP4500

インライン酸洗装置 単結晶・多結晶太陽電池のエッチング・ポリッシング・洗浄・乾燥を行います。 水層保護→エッチング・ポリッシング→アルカリ洗浄→酸洗浄→乾燥。 - 高スループット：5レーン 4500pcs/h、10レーン 8000pcs/h。 - 優れた均一性、長い浴寿命。 - 様々な添加剤または混合添加剤技術。 - ウェーハ厚さ120μmまで対応可能 - インラインでの素早いバス交換が可能 - 裏面研磨に適しており、薬液消費量が少ない - MESでの使用に適しています。インラインでの重量測定はオプションです。 - アシッドポリッシュ機能に対応。