拡散炉 DOA-420

キャビネット高温自動

この装置は、主に結晶シリコン太陽電池の製造工程において、シリコンウェハーにPn接合を形成し、ドーピングするために使用されます。 石英ボートとウェハの準備→ウェハの挿入→ウェハの投入→レシピの選択→ボート投入→チューブの真空引き→昇温→酸素導入→BBr3/BCL3導入→押し込み→DOA処理→ボート搬出→冷却→テスト→ウェハ搬出 - 高温ボロン拡散。 - BBr3、BCL3。 - 特許取得済みの技術。 - 独自の二重構造のファーネスドア構造。 - 排ガス処理装置の特許技術。 - 高速一体型モジュールボート押し機構。 - インテリジェントな自動制御 - 独立した知的財産権を持つMESソフトウェア - 過熱防止、熱電対破損、ボート衝突などの総合的な安全警報保護機能。 - S.Cスマートファクトリーソリューションに対応。