アニーリング炉 酸化ガス窒素加工

アニーリング炉
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参考価格 

特徴

機能
アニーリング, 酸化
熱源
ガス
雰囲気
窒素加工
その他の特徴
高温, デジタル, エレクトロニクス産業用

詳細

詳細 高純度拡散、アニーリング、酸化 拡散炉HTFは、最大4つの個別に制御可能なチューブが装備されています。 チューブ内のボートの積み下ろしは、ユニットを積み込むことによって自動的に行われます。 1つのボートはサイクルごとにチューブにロードされます。 ボートは、バックツーバックローディングで500ウェーハで満たすことができます。 ドライブインとヒートアップステップの後、プロセスは温度安定化から始まります。 その後、窒素をPOCl3液体のキャリアガスとして使用します。 プロセスを終了するために追加の酸化ステップが続く。 設定された時間の後、拡散チューブは、その後のアンロードのために開かれる。 BENEFITS 非常に均質で再現可能なエミッタ形成 最大4 個の独立して作動する石英管は、冗長性/高い稼働時間を提供します各プロセスチューブのデジタルプロセスおよび温度制御可能バックツーバックローディング可能自動ボート積載 水冷却システムチューブの相互干渉を防止するために、 POCl3拡散とCO拡散 TECの高温ステップの両方に設定可能。 データ 性能 チューブあたり500ウェーハ(バックツーバック) 各ゾーン専用の内部プロファイル熱電対 経時的な温度安定性 優れた温度安定性のための水冷要素 ソフトランディング機能

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。