セラミック ZERODUR®

製品情報 極めて低い熱膨張 ショットの超熱低膨張ガラスセラミックであるZERODUR®は、IC（集積回路）およびFPD（フラットパネルディスプレイ）リソグラフィー、高精度計測、天文・宇宙といった温度変化に対する幾何学的な形状変化を可能な限り最小限に抑えなければならない高度なアプリケーションにきわめて高い精度を提供します。 ZERODUR®はポア・フリーのガラスセラミックで、ガラスマトリックス中にナノサイズのケイ酸塩結晶が均一に分散した微構造を有しています。 ZERODUR®は超軽量ミラー基板などの小さなコンポーネント製品としても、セグメントが一体化した天体望遠鏡などのミラー基板としても提供が可能です。 特長 超低膨張ガラスセラミックZERODUR®は、さまざまな卓越した特性を持っています • ブランク全体におよぶ幅広い温度範囲において極めて低い熱膨張係数（CTE – 熱膨張係数）を実現 • 極めて均一なCTE • 高い内部品質（異物、脈理、内部応力） • 精密かつ多様な形状に対応 • 1 nm RMS以下の極めて滑らかな表面粗さまで研磨可能 • 高い化学的安定性 • 小型コンポーネントから大きなミラー基板まで、信頼できる特性を実現 供給形態 ZERODUR®超低膨張ガラスセラミックの供給携帯は以下のとおりです。 供給形態 : 寸法 精密CNC加工品 : お客様の仕様による 直径：最大4.5 m 特注形状 軽量化 : お客様の仕様による（最大90%） 最先端の5軸CNC加工装置と特別な研削技術によって、お客様の要求に応じた複雑で高精度な形状を生み出すことが可能です。 技術詳細 CTEグレード | CTE均質性 | 特性 | 内部品質 | 品質保証 ZERODUR®は、0～50℃の範囲で、以下の多様な線熱膨張係数（CTE）のグレード で提供可能です。 CTEグレード : CTE (0～50℃) * ZERODUR® クラス2 : 0 ± 0.100 ・ 10-6/K ZERODUR® クラス1 : 0 ± 0.050 ・ 10-6/K ZERODUR® クラス0 : 0 ± 0.020 ・ 10-6/K ZERODUR® クラス0 スペシャル : 0 ± 0.010 ・ 10-6/K ZERODUR® クラス0 エクストリーム : 0 ± 0.007 ・ 10-6/K ZERODUR® テイラード : 受注対応 ± 0.020・10-6/K （ご要望により± 0.010・10-6/K） アプリケーションの温度プロファイルに最適化 * CTE（0～50℃）は、温度範囲0～50℃における平均線形線熱膨張係数を示します。