走査型プローブ顕微鏡(SPM)超高真空装置 MULTIPROBE S
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特徴
- 応用
- 走査型プローブ顕微鏡(SPM)
詳細
MULTIPROBE SはMULTIPROBEの範囲の基礎を形作り、より大きいMULTIPROBE PおよびMULTIPROBEのRM変形のための基礎である。 MULTIPROBE Sは電子分光学、UHVのスキャンの調査の顕微鏡検査およびサンプル準備のための大きい多技術の分析の部屋が付いている単一の部屋の表面科学UHVシステムである。 サンプル移動システムはSPM、分析の部屋および速い記入項目のサンプル負荷ロック(FEL)間のサンプル移動を促進する。
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