熱式質量流量調節器 SFC5000 series

ガス用デジタル精密

フロー／環境センサのエキスパートであるセンシリオンは、マスフローコントローラの新製品 SFC5500 シリーズを発表します。SFC5500 は世界で初めてカタログ販売を開始したマスフローコントローラです。この高性能マスフローコントローラは複数のガスに対応しており、ユーザーが簡単に交換できるプッシュインフィッティングが付属しています。また、SFC5500の制御範囲は非常に広いため、従来の機器ではカバーできなかった複数の流量レンジを1つの機器でカバーすることができます。その結果、流量レンジの異なる3種類のバージョンだけで、対象となるほとんどの流量をカバーすることができます。これにより、SFC5500は、医療、分析、工業分野のアプリケーションに理想的に適合します。SFC5500は現在、センシリオンの販売ネットワークを通じて世界中で販売されています。 SFC5500 マスフローコントローラシリーズは、ガスフローの精密制御におけるセンシリオンの 20 年にわたる優れた実績の集大成です。このセンサは、マイクロサーマル測定原理に基づいており、センシリオンの実績ある CMOSens® MEMS 技術を利用しています。これにより、クラス最高の性能と優れた信頼性を備えた革新的なマスフローコントローラを構築することができました。このマスフローコントローラは、市場に出回っている他の多くのデバイスとは異なり、ドリフトせず、使用中の再校正も必要ありません。 SFC5500シリーズは、CMOSens® MEMSフローセンサーが可能にする非常に高い制御範囲により、従来のマスフローコントローラで見られた複数の流量レンジを1つのデバイスでカバーすることができます。