絶対圧力伝送器 225

アナログステンレススチール製

セトラのモデル225は、高純度ガス供給システム、半導体プロセス、および超クリーン操作、高スループット性能、卓越した長期安定性を必要とする制御アプリケーションに最適です。 GCT-225 は、0.11 in3 の低キャビティ容積で設計されており、パーティクルの巻き込みがほとんどなく、パージも容易です。すべての接液部は、5Ra（最大7Ra）のパッシベーションを施した316L VIM/VARステンレス鋼で、表面の凹凸をなくし、耐腐食性のために適切な表面化学を提供し、コンタミのないガス分布を保証します。すべてのセンサーは、質量分析計によるヘリウムリークテスト（1×10-9 ATMCC/秒）を受けています。 モデル225シリーズには、ゼロとスパン調整用の12回転ポテンショメータに簡単にアクセスできる回転式カバーが付属しています。標準のスイベルオスまたはメスのフェースシール圧力継手は、半導体業界の要件を満たしています。さらに、いくつかの他の継手スタイルが利用可能です。 225は5VDC、10VDCまたは4-20mA出力で提供されます。 電気的終端用に6フィートのマルチ半導体ケーブルまたはバヨネットコネクターが提供されます。セトラの特許取得済み可変容量センサーは、VIM/VAR 316Lステンレス鋼ダイアフラムと絶縁電極板を特徴としています。可変キャパシタはセンサ本体と電極板の間に形成されます。圧力が上昇するとダイアフラムがわずかに丸くなり、静電容量が減少します。 静電容量の変化は検出され、高精度のリニアDC電気信号に変換されます。セトラ独自のカスタム集積回路は、特許取得済みのチャージバランス原理を利用しており、事実上EMI/RFIに影響されません。 用途 - ガスキャビネット - 高純度ガス供給システム