小型反射プローブを使用した反射分光式膜厚計で、ラボレベルから生産工程でのインライン100%検査まで、あらゆる場面で使用できるコンパクトな膜厚計です。メンテナンス性にも優れ、プロセス機器への組込みやライン管理にも活用できます。
最大9種類の透明フィルムの同時測定が可能です。
様々な多層フィルム工程のインラインモニターやエンドポイントモニターとして使用できます。
コンパクトなプローブは、プロセスツール内のわずかなスペースに設置することができます。また、EMA理論により、混合層の混合比やポリシリコンの結晶性を判定することが可能です。
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