太陽光貯蔵マシン LD-42 series

TOPCon太陽電池用トンネル酸化膜、i-PolyおよびD-Polyの成膜。 - 低圧力、ホットウォールプロセスの特徴を有し、膜の均一性、コンパクト性に優れています。 - LPCVDプロセスにより、高密度基板でも成膜速度にほとんど影響を与えず、シングルチューブでの成膜能力が大きい。 - 温度ゾーンが多く、ウェハー間の均一性が高い。 - 独立調整可能なセグメント化されたエアインレットにより、エアフロー減少効果を補正。