相対圧力センサ t011 TBAR-UHIVS

共振型シリコンMEMS

TBAR-UHIVS / USDI12はTERPS (Trench Etched Resonant Pressure Sensor) テクノロジーを採用したトランスデューサーを搭載しています。TERPSテクノロジーとは、微細加工されたシリコン共振素子の周波数変化を観測することで圧力を測定する技術です。 このセンサーは特殊なボックスに収納されており、ほこりや液体に対するかなりの耐性を保証し、悪条件や悪天候でも優れた動作基準を維持します。 センサーは、埃や液体に対するかなりの耐性を保証する特別なボックスに収納されており、悪条件や好ましくない気候条件下でも優れた動作基準を維持します。実際の設置環境条件に基づいて、センサーの校正とその動作を特定の高度に適合させることができる気候チャンバーを使用して、慎重な校正プロセスが実施されます。すべての手順は、動作温度に対して高いレベルの測定精度と再現性を達成するために正確に実行されます。