垂直インラインスパッタリング式貯蔵マシン 2SV2215MR

ミラー用

2SV2215MR垂直インラインスパッタリングシステムは、フラットガラス上への片面および両面多層スタックの成膜を目的としたモジュラーフレキシブルシステムです。 このインラインシステムは、建築用ガラス、太陽光発電用ガラス、額縁用ガラス、園芸用ガラスの製造に使用されます。 エンジニアリングとテクノロジー このシステムは、ロック室、搬送室、成膜室を備えたシングルエンド構造として設計されている。 ガラスのローディングとアンローディングのロボットステーションとキャリア交換マガジンがシステムの入出力側に配置されている。 カセットの横移動用チャンバーは、ガラスの第2面をコーティングするために、直接流路から逆流路へガラスを移動させる役割を果たします。 ガラスの保持と搬送には特注のキャリアが使用され、ガラスは傾くことなく垂直に配置されます。 ガラスとマグネトロンを垂直に配置することで、パーティクルのない成膜が可能になります。 リニアイオンビームソース（各ガラス面につき4個）は、ガラス面の前処理に使用されます。 各蒸着チャンバーは、ガラス両面の連続コーティング用に、カセットの直行および直帰用に2つの同様の隔離されたコンパートメントに仕切られています。 スパッタコンパートメントには、MF電源で駆動される高レートの二重回転マグネトロンが装備されています（各ガラス面につき13個の二重マグネトロン）。 各成膜コンパートメントは、ポンプダウンされたガス分離ゾーンによって隔離されている。 各デュアルマグネトロン用の独立したPEMチャンネルとマルチセクションガス供給マニホールド、および各成膜層の光学パラメータのその場測定により、最適なプロセス制御と必要なコーティング均一性が得られます。