長さゲージ LM series

厚さ光学式ナノメートル

高精度触覚厚み測定・校正用ファイバー結合型高リニアプローブ 触覚式長さ・厚さ測定用レーザー干渉計精密プローブ 直線性 ≤ ±2 nm 測定力 固定調整可能 0.5 ... 1.5 N 測定範囲全体にわたる高い直線性 全測定範囲において、プローブの測定力を一定に保つことができる WindowsおよびLinuxのOEMソフトウェアのためのオープンインターフェース LMシリーズのレーザー干渉計プローブは、高精度リニアエンコーダです。このプローブでは、20mmまたは50mmの測定範囲において、ナノメートルの精度で触覚測定を行うことができます。このリニア長さ計は、そのサイズとクランプシャフトの直径Ø 8 mm h6により、従来の測定システムとの互換性を持っています。 内蔵のレーザー干渉計は、モーター駆動の測定スピンドルの測定動作を干渉信号に変換します。この光学測定信号は、光ファイバーによって光電子供給・評価ユニットに伝送され、長さ値として出力されます。スタイラス・クイルと内蔵された干渉計は、アッベ誤差やアライメント誤差の最小化を考慮し、互いに調整されます。 安定したHeNeレーザーの光を光ファイバーでレーザー干渉計に供給し、環境によるレーザー波長の影響を補正することが、高い測定精度の基礎となっています。操作と表示は、独立したディスプレイを使用するか、適切なソフトウェアをインストールしたPCを使用して行います。