スライド タイプアクチュエータ SLA Series

リニア電動

SLAシリーズは電子・半導体産業、バイオ等の分野で必要とされる高精細のスキャニング用途にデザイン開発されました。可動部が非常に軽いため、高速／高加速度を要するアプリケーションに向いています。また、ダイレクトドライブのためバックラッシュがありません。高剛性があり、かつ低摩擦のクロスローラガイドを搭載。電動コイルは磁場を形成するクロスローラガイドの中心に配置されているため、非常に安定した動きをします。エンコーダ分解能は5ミクロン標準、最小分解能50ナノメートルもご用意します。 特長 - 高速、高精度のスキャニングに最適 - バックラッシュやコギングが無い - 速度、位置、推力を自在に制御