リニアポジショニングステージ SMARPOD CLS-32圧電3軸真空対応

リニアポジショニングステージ
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参考価格 

特徴

方向
リニア
タイプ
圧電
軸の数
3軸
その他の特徴
真空対応, 非磁性, 閉ループ
ストローク

10 mm, 20 mm (0.394 in)

詳細

SMARPOD CLS-32 SMARPOD CLS-32は、交換可能なドライブユニットを装備し、すべての高可用性アプリケーションに最適です。 SMARPOD CLS-32は、中型の六脚に似た位置決めシステムです。 このユニットには、SmarAct の交換可能ドライブユニット(EDU)が装備されており、位置決めセットアップを完全に分解することなく、キャリブレーションや位置データを失うことなく、ピエゾドライブの簡単かつ迅速な交換を保証します。 他のSmarAct SMARPODと同様に、SMARPOD CLS-32は、高真空および超高真空バージョン、または完全に非磁性材料で製造されています。 トラベル [ミリメートル] 20 (X); 20 (Y); 10 (Z) トラベル [21 (x); 24 (y); 38 (z) 最大. 垂直荷重 [N] 5 最大 水平荷重 [N] 2.5 寸法 [mm] Ø 124 地上上のプラットフォームの高さ [mm] 54 重量 [g] 550 閉ループ センサタイプS; SC 最小増分 [nm] 1 最小増分 [μrad] 1 閉ループ繰り返し性 [nm] < ± 200 (全トラベル範囲); < ± 15 (1mm リニアトラベル) クローズドループ繰り返し性 [μrad] < ±10 オプション 真空オプション HV (1E-6 mbar); UHV/UHVT (1E-11 mbar) 非磁性オプションあり (-NM)

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。