自動プローブ

高速

APHを制御するのは、タッチコントローラー「SMARPROBE」。ともに新しい可能性を切り拓きます。 電子ビームを照射する前にプローブを自動で着地させることができるため、ナノプロービングがより簡単に、より速く行えます。プローブの自動着地とクローズドループモーションコントロール、Pythonスクリプトを組み合わせることで、ナノプロービングのタスクを自動化するためのユニークなソリューションが実現します。 また、低ノイズ電流アンプを搭載しているため、低電子ビーム電流（数pAs）でも高速にEBACイメージングを行うことができ、試料と時間を保護することができます。 特徴 最大8本のプローブを同時に自動着床させることが可能 低ノイズEBAC/EBICイメージング 完全ソフトウェア制御 電圧バイアスをサポート ロックインEBIC対応 SEM画像とのライブミキシング EBIRCh利用可能