半導体産業用回転冷却器 HRZ-F series

高性能水冷式

HRZ-F循環式冷凍機は、複数のSEMI機器規格に準拠し、流体温度を±0.1℃に調整することで、特にハイテク分野に適しています。 また、ポンプとコンプレッサーの回転をインバータ制御にすることで、エネルギー効率を高めています。 冷媒はR410Aで、現在のEUのFガス規制に準拠しています。 Fluorinert™やGALDEN®などのフッ素系冷媒にも対応しています。 HRZ-F, SEMI規格ダブルインバーターチラー, フッ素系冷媒用 HRZ-F循環式冷凍機は、複数のSEMI機器規格に準拠し、流体温度を±0.1℃に調整することで、特にハイテク分野に適しています。 ポンプとコンプレッサーの回転をインバータ制御にすることで、エネルギー効率を高めています。 冷媒はR410Aで、現在のEUのFガス規制に準拠しています。 Fluorinert™やGALDEN®などのフッ素系冷媒にも対応しています。 HRZ-F, SEMI規格ダブルインバーターチラー, エチレングリコール冷媒用 HRZ-F循環式冷凍機は、複数のSEMI機器規格に準拠し、流体温度を±0.1℃に調整することで、特にハイテク分野に適しています。 ポンプとコンプレッサーの回転をインバータ制御にすることで、エネルギー効率を高めています。 冷媒はR410Aで、現在のEUのFガス規制に準拠しています。 冷却水には60％エチレングリコール水溶液に対応しています。 HRZ-F, SEMI規格ダブルインバーターチラー, 水道水または純水の冷却水に対応 HRZ-F循環式冷凍機は、複数のSEMI機器規格に準拠し、流体温度を±0.1℃に調整することで、特にハイテク分野に適しています。