エッジ研磨機 EP-X series

自動表面用鏡

300mm シリコンベアウェーハ向け高スループット装置です。三面同時研磨を行うウェーハ外周エッジの他、ノッチ内部またはオリフラ直線部も鏡面化し、エッジ部全体のダメージ領域を除去します。