ガス監視設備 PPM100

PPM100はSRS残留ガス分析計用のスタンドアローンコントローラ/モニタです。SRS RGAから分圧を、最大4台のキャパシタンスマノメーターから全圧を測定します。タッチスクリーンLCDディスプレイでグラフィック出力が可能です。PPM100は、8チャンネルのプロセス制御機能、4つのアナログI/Oポート、RS-232、USB、GPIBコンピュータ・インターフェース、ウェブ・インターフェースを備えています。 残留ガス分析 PPM100は単一のSRS RGAをモニター、制御するように設計されています。メニュー駆動のユーザーインターフェースにより、オペレータはフロントパネルからRGAパラメータを簡単にプログラムできます（つまりホストPCは不要）。RGAデータはアナログスキャン、分圧対時間、リークトレンド（音声信号付き）、または単一質量読み取り値として表示できます。このデータは、アラーム、プロセス制御リレー、特定の成分ガスのクローズドループ制御用のアナログポートにリンクすることもできます。 スクリーンショット1 アナログI/O PPM100には4つの設定可能なアナログI/Oポートがあります。これらは、ヒーター、アクチュエーター、イオン源、プログラマブルロジックコントローラー、スロットルコントローラーなどの補助真空機器を制御する出力として使用できます。入力として、最大4つのキャパシタンスマノメータを同時にモニターできます。 データロギング すべてのゲージ（およびすべてのアナログ入力）からのデータは、ユーザー定義のレートで保存されます。代表的な用途としては、ポンプダウンやベントカーブの取得、成膜プロセス中のマスフローコントローラー信号の監視、ベークアウトや熱処理中の温度やその他の時間依存変数の監視などがあります。 プロセス制御 PPM100は、対応するTTL出力を備えた8つのリレーを提供します。各チャンネルは特定の分圧にリンクできます。