回転ポジショニングステージ DT155

圧電高精度コンパクト

- 真空：HV全レンジ 10E-8 mbarまで - 潤滑油：最大10E-8 mbar - 最大ベークアウト温度100°C オプションで構成可能 - 磁性体バージョンと低磁性体バージョンを用意 - 用途に応じた材料選択と真空潤滑方式を採用 - チャンバー内の設置状況に合わせた個別対応 - クリーンルーム ISO 14644-1 用バージョン（ご要望に応じてクラス 1 まで対応可能） - コントローラFMC400/450をオプションで提供 高精度かつダイナミックな画像処理 コンパクトでフラットな回転ステージは、真空中の高速プロセスで極めて高い解像度を実現します。79mmという大きな透過光により、大きな試料も正確に位置決めし、測定・解析することができます。高度な多軸システムに組み合わせることができ、当社のFMC 400/450コントローラで簡単に制御することができます。 応用分野 高精度かつ動的な顕微鏡検査（例：電子顕微鏡、イオン顕微鏡、走査型電子顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、ビームライン装置、シンクロトロン、材料研究、材料分析、ウェハー検査、半導体品質管理、半導体研究など