プロセス ガス用分析器 QULEE CGM series

残留ガス監視用プロセス

コンパクトなプロセスガスモニタ-QULEE CGMシリーズ 「Qulee」（「KLEE」と呼ばれる）は、ULVACの残留ガス分析およびプロセス中のガス監視の最新モデルです。 様々な生産ラインの設備エンジニアからのフィードバックが新製品の設計に組み込まれており、最大限のシンプルさを提供します。 Quleeは、高圧（1Pa 以下）でも高い精度と分解能を提供 します。スパッタリングシステムに最適なさまざまなスパッタリング システム 差動ポンプシステム不要（1Pa（7.5 × 10-3 Torr、 1 × 10-2 mbar）以下） 統合ディスプレイ PC の 簡単操作 「ワンクリック」機能 ベークアウト 最大 120° C (248° F) 高温ベーク ( センサーを取り外すと250° C (482° F)) Degas 機能電子 ボンバードデガス 保護とメンテナンス機能 イオンソースと二次電子乗算器 保護メンテナンス ヘルプ機能 分析チューブのトレーサビリティ（特許出願中） 様々な リークテストはヘリウムリークテスト、エアリークテスト、ビルドアップテスト 全圧力測定（イオン化ゲージ） Qulee QCSが含まれています。 (Windows 7/8) QIP (クイックインストールパッケージシステム) に付属。 自動測定パッケージ (詳細はオプションカタログを参照)。 PV、FPD、半導体システム 不純物の残留ガス分析に関するCEプロセス監視に適合。 PVDシステムの（H2O 等）制御 リークテスト用