機能発電機 DPG-10/DPG-20

電圧

DPG-10/DPG-20は、スパッタリングのための10kW/20kWのDC発電機です。 それらは信頼性の高いコンポーネントと回路で作られています。 これらの信頼性の高い発電機は、発電機アプリケーションを含む長年の知識を反映した設計で、プラズマ負荷用に最適化されています。 軽量 ／ 省スペース設計で、優れた設置 柔軟性を備えています。 出力電圧範囲を選択可能な 1000V 仕様に加え、800V 仕様のラインアップを特長 としています。 プラズマに精通した広範なアーク制御法を扱う広範なアーク。 冷却水は必要ありません 強制空冷、冷却水は必要ありません。 高速アークシャットオフ回路を搭載でき、 低アークエネルギーを標準で実現。 オプションとして高速アーク遮断回路を装備することもできます。 柔軟な並列操作機能 DPG-10、DPG-20を搭載 できます：オプションの並列操作機能により、10kWと20kWを組み合わせて 並列操作で最大 12ユニットを同時に動作させることができます。（最大 240kW） 特別機能/以外の適用 フラットパネルディスプレイ スパッタリング 半導体スパッタリング タッチパネルスパッタリング 工業用コーティングスパッタリング