空気ポンプ LS series
電動インペラ産業用

空気ポンプ
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特徴

流体
空気
駆動
電動
技術
インペラ
分野
産業用
用途
加工, 加圧, パージ, 表面処理, 乾燥
その他の特徴
組み込み式
流量

120 m³/h, 380 m³/h, 600 m³/h, 1,000 m³/h (4,237.76 ft³/h)

詳細

高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。 特長 ■大気圧付近の排気速度が大きく、排気時間の短縮が可能 ■ECO-SHOCK技術により、低消費電力を実現(C仕様)  到達圧力時の消費電力は0.6kW以下(LS120A-C) ■専用サイレンサーを標準搭載。到達圧力時の騒音値は61dB(A)以下 ■従来必要だった軸シールガスが不要。※L仕様はパージガスを流す事が可能 ■排気速度120~1200m3/hクラス ※メカニカルブースターポンプとの組合せ 用途  C 仕様:クリーンプロセス (LS***A-C)    特徴:ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ    用途:エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け         スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々  L 仕様:ライトプロセス(LS***A-L)    特徴:表面処理、パージ機能を擁するライトプロセスタイプ    用途:水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け         真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途 等々

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。