POWERGLIDE®は、ワトローのアダプティブ・サーマル・システムズ(ATS™)技術を独自に具現化したもので、温度制御と電力制御を1つのATS対応デバイスに統合し、半導体プロセスアプリケーションに最適です。
POWERGLIDEは半導体製造業界向けに最適化されたEtherCAT®を含む複数の通信プロトコルを提供します。
特長と利点
自動校正アルゴリズム内蔵
校正に伴うダウンタイムを排除
高TCRヒーター材料による温度制御
全ゾーンの閉ループ制御が可能
セラミック制御アルゴリズムを搭載
ペデスタルを保護するために材料の限界を維持
プログラム可能な状態ベースのPID制御を提供
EtherCAT®通信プロトコル
業界標準プロトコルへの準拠を保証
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