光学式3DセンサーWM|RS-Cは、面計測型の白色光干渉計で、顕微鏡環境でのトポグラフィー、粗さ、微細構造の測定、検証、検査用に開発されました。
特徴
高い柔軟性
センサーをタッチプローブのように変更可能|5軸測定機WENZEL COREに内蔵|スタンドアローンとして使用可能
高い生産性
システム変更|WMに完全統合|Quartis|コンポーネント座標系で作業|自動測定シーケンスに完全統合
産業用CT(コンピュータ断層撮影)装置
WM|RS-Cは、3次元表面を点群または三角形のSTLメッシュとして全体的に捉え、DIN EN ISOに準拠した2次元および3次元粗さ評価を可能にします。このセンサーの特長は、垂直方向と水平方向の高解像度の表面を測定できることにあります。光学式3DセンサーWM|RS-Cは、「白色」光の短いコヒーレンス長を利用して、技術面を垂直方向に最高解像度で測定します。フルHD解像度の内蔵GigEカメラと、分光分布が最適化された内蔵LEDが使用されています。この干渉計は、交換可能なMirauレンズを使用し、ピエゾ駆動のアクチュエーターを備えたテーブル構成で動作するため、地形の高解像度スキャンを可能にする古典的なものです。
---