ゲートバルブ CCD

電動式制御ステンレス製

GCDシリーズ電動高真空ゲートバルブ、CCDシリーズ電動超高真空ゲートバルブは、真空空気流路の接続や遮断に使用します。 a）自動運転の場合、本体側のドライブを設計するため、バルブの高さ寸法を大幅に削減し、その後、機器スペースの製造コストを削減する。 b）適用メディアは、空気と非腐食性ガスです。CCDシリーズは、450℃の焼成温度に耐えることができ、通常、イオンポンプや高温真空環境に使用されています。 適用範囲 - 105～6.7×10-5Pa（GCDシリーズ） 105～6.7×10-8Pa(CCDシリーズ) バルブリーク率 - ≤1.3×10-5Pa.L/S（GCDシリーズ）以下 ≤1.3×10-8Pa.L/S（CCDシリーズ） ≦1.3×10-8Pa.L/S（CCD シリーズ 設置状況 - ≤2.7×103Pa（DN≥320 Proposal＜1000Pa） 電源供給 AC380V/50HZ 開閉時間 20~40s 設置状況 任意、HorizontalSideStateIs The Best。 本体、ディスク - ステンレス GCDシリーズシール - NBR、Viton、Bellows（シャフトシール） CCDシリーズシール 無酸素銅、ベローズ、ディスクバイオンシール