XYポジショニングステージ / モーター式 / 1軸 / 小型
LSA-V series

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XYポジショニングステージ XYポジショニングステージ - LSA-V series
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特徴

  • 方向:

    XY

  • タイプ:

    モーター式

  • 軸の数:

    1軸

  • その他の特徴:

    小型, 精密, ミニチュア, 真空対応, フラットプロファイル型, マイクロメートル

  • ストローク:

    最少: 10 mm (0.394 in)

    最大: 25 mm (0.984 in)

  • 速度:

    0.01 m/s (0.032808399 ft/s)

詳細

Zaberの真空互換ステージ(LSA-Vシリーズ)は、最も制限の厳しいスペースに収まるように設計されています。 小型でありながら強力なこれらのデバイスは、10mm/sの速度と最大35Nの推力が可能です。 これらのステージは、マイクロステップサイズが25nm 未満の真空環境での信頼性の高い超微細位置決めに最適です。 真空チャンバー内のステージを制御するために必要なフィードスルーワイヤは7 本のみで、高真空(10 ^-6 torr)または低真空(10 ^-3 torr)のいずれかで真空互換性があります。 これらのステージは、当社のX-MCB1シリーズステッピングモータコントローラでプラグアンドプレイ用に配線できます。

これは自動翻訳です  (英語の原文を読む)