回転ポジショニングステージ X-RSM-SV series
多軸コンパクト統合制御装置付き

回転ポジショニングステージ
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特徴

方向
回転
軸の数
多軸
その他の特徴
コンパクト, 統合制御装置付き, 真空対応

詳細

ZaberのX-RSM-SVシリーズ内蔵コントローラを備えた真空互換軽負荷ロータリーステージ-高(10 ^-6 Torr)および低(10 ^-3 Torr)真空環境用の真空互換回転ステージ-は、当社の最もコンパクトなステッピングおよびウォームギア駆動装置です。 内蔵コントローラは、他のZaber 製品とのデイジーチェーン接続が可能で、デイジーチェーン内のすべてのユニットを(X-PIBアダプタ付き)シリアル・ポート経由で制御するために4 本のフィードスルー・ワイヤしか必要としません。 これらのデバイスは、0.02° の繰り返し性、4mmの開口部、50Nの負荷容量を備えています。自動調整フィートと取り付けポイントにより、ZaberのX-GSM-SVチルトデバイスまたは取り付けブラケットを使用して、多軸チルトまたはジンバルシステムを簡単に設定できます。

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カタログ

Zaber Catalog 2022
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188 ページ

見本市

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25-28 3月 2024 París Villepinte (フランス) ブース 5T158

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