熱伝導性プローブ

プロセス

エネルギー出力の連続測定によるプラズマ増強表面改質プロセスの最適化 プラズマ増強プロセスでは、表面反応の発生と性質、反応速度は、入ってくる粒子の運動エネルギーによって大きく決定されます。 放射線や反応エンタルピーなどの他の寄与と共に、プラズマ処理された基材の表面特性に不可欠な総エネルギー流入の一部です。 ZIROX、NEOPLAS、ライプニッツプラズマ科学技術研究所は、表面処理時の表面における実際のエネルギー流入をin-situ 測定するための新しいプローブを開発しました。 これにより、エネルギー流束の大きさと方向を特徴付け、材料の特性と相関させることができます。 Active Thermal Probe は、プロセスパラメータの変化に対する感度が高く、コストも比較的低いため、産業や研究におけるプラズマプロセスの効率的な品質管理とオンラインモニタリングに非常に適しています。