リニア位置センサ ZPS™
非接触式閉ループ光学式

リニア位置センサ
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特徴

タイプ
リニア
接触 / 非接触
非接触式
技術
閉ループ, 光学式, 赤外線, 光ファイバー
出力シグナル
デジタル, イーサネット
応用
工業用, 小スペース
その他の特徴
コンパクト, アブソリュート, 精密, 高精度, 高解像度, 超小型, 高感度, 本質安全, 独立型電子回路装置, サブナノメーター精度
測定範囲

最少: 2.9 mm
(0.11 in)

最大: 4.1 mm
(0.16 in)

3.5 mm
(0.14 in)

測定周波数

最少: 1 Hz

最大: 208,000 Hz

詳細

最大64チャンネルで同期した高精度の非接触式絶対位置測定を提供します。 ZPSセンサーZYGOのZPS™システムは、非接触の超小型光学センサの為、デフォーマブルミラーやレンズの位置決めなどの様々な高精度アプリケーションに統合し、複数の絶対位置を測定することができます。 ZYGOのZPS™システムは、最大64チャンネルで同期し、1.2mmの範囲で高い精度の非接触式絶対位置測定を提供します。1日で1nm以下の測定安定性で、測定分解能は0.01nmとなります。 ZPSセンサは熱を発生せず、電磁干渉の影響を受けないため、ZPS™システムはこのような影響が想定される高精度アプリケーションにも最適です。超コンパクトなZPSセンサは、光ファイバケーブルを介し、集中型筐体(シャーシ)に接続されます。付属のZPS™ソフトウェアは、ZPS™システムとコンピューター間のプラグアンドプレイ接続を提供し、システムを素早く容易に起動しZPS™システムを使用することができます。
*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。