Hitachi/日立の検査機

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CD-SEM検査機 / ウェハー用 / 測定用 / 高解像度
CD-SEM検査機
CD-SEM CG5000

... 22nm 以下の技術ノード向けに設計された新しい CD-SEMです。 高度なCD 測定 SEM CG5000 (HITACHI CD-SEM) は、電子光学の改良、高度な画像処理、新しいウエハ転送システムを利用して、高解像度、高スループット、高い繰り返し性を実現します。 CG5000はまた、強化された自動校正が可能で、長期的な安定性を提供します。 さらに、CD-SEM CG5000は、1Xnmプロセス開発のための新しいプロセスと新材料の測定の課題に対応するための新しいアプリケーションと測定技術を備えています。 ...

自動検査機 / CD-SEM / 測定用
自動検査機
RecipeDirector

... 設計に基づく計測システムの製品ラインナップの紹介 レシピ監督: 設計データを活用したCD-SEMレシピ自動作成 DesignGauge-Analyzer(DG-A):リ ソグラフィプロセスにおけるOPC 評価とパターン測定の最適化 機能 オフラインレシピ作成 ウエハとCD-SEMを使用せずに 測定点と方法を指定して自動レシピ作成 高品質レシピ (一貫性あり-オペレータのスキルに依存しない) サーバー/クライアントスタイル ...

パターン無しウェハー用検査機 / 表面用 / 高速
パターン無しウェハー用検査機
LS Series

... ウエハ表面検査システムLSシリーズは、鏡面仕上げの表面を有するパターン化されていないウェーハ上の欠陥を検出することができます。 レーザー散乱の応用技術は、パターン化前にウェハ表面上の微小な汚染物質や様々な欠陥の高感度・高スループット検出を実現します。 浅い傷の平坦性の欠陥、ウォーターマーク、エピスタッキング欠陥、研磨プロセスによる突起、堆積時に生じる平坦性の欠陥などのウェーハ表面欠陥は、次世代プロセスにおいて問題を引き起こします。 ...

自動検査機 / エレクトロニクス産業用 / プリント基板用 / 測定用
自動検査機
E-6000 Series

... HDD(ハードディスクドライブ)の空中密度を急速に向上させるには、薄膜ヘッド製造のための高度なパターン化ソリューションが必要です。 これにより、最先端の半導体プロセスがHDD 業界に飛躍的に取り入れられます。 磁気ヘッドエッチングシステムE-6000シリーズ:EMCP(電気磁気結合プラズマ)エッチングシステムは、従来のイオンフライス加工プロセスと比較して、プロファイル制御および高いエッチング速度および選択性において優れた性能を提供します。 ...

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HITACHI Industrial Components & Equipment/日立
CD-SEM検査機 / エレクトロニクス産業用 / 測定用 / 高解像度
CD-SEM検査機
SEM CG5000

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HITACHI Industrial Components & Equipment/日立
自動検査機 / ウェハー用 / 欠陥用
自動検査機
SEM CR6300

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HITACHI Industrial Components & Equipment/日立
光学検査機 / ウェハー用 / 欠陥用 / 高速
光学検査機
IS Series

... LSI 生産ラインでは、DOI(関心欠陥)を逃さずに高周波で生産ウェーハの欠陥を検査することにより、高速欠陥モニタリングを重視しています。 ISシリーズは、量産工程において、パターン化されたウェーハ上で発生した欠陥を高速・高感度で監視することができます。 さらに、レシピ作成の使いやすい操作性と、200mmおよび300mmウエハの高周波・高速検査機能を備えています。 ISシリーズは、パターン化されたウェーハの欠陥管理と欠陥検査のコスト最適化に貢献します。 ...

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自動検査機 / CD-SEM / ウェハー用 / 測定用
自動検査機
SEM CS4800

... Advanced CD 測定 SEM CS4800は、既存の製造ラインの生産性と運用効率を向上させ、お客様のプロセス制御能力を向上させるために設計された高品質のSEMイメージング、測定精度の向上、高速な自動操作を提供します。 さらに、CD-SEM: CS4800は、お客様が新しいウェーハ転送システムに切り替えることができる2つの異なるウェーハサイズを扱うように構成することができます。 日立ハイテクは、新しい半導体や電子デバイスに対するお客様の多様なニーズに応えるために、炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)などの各種ウェーハ材料のサポートを拡大する計画です。 ...

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