Pfeiffer Vacuum/ファイファー・バキュームのルーツ真空ポンプ

流量: 6,200, 1,300, 2,100 m³/h

... HiLobeの個別の温度制御が可能となり、ポンプ温度をプロセスに最適に適応させることができます。 高性能 ハイローブポンプは、520～6,200 m³/hのポンプ速度範囲でご利用いただけます。その優れた駆動コンセプトにより、ブースターポンプの差圧が非常に高く、短時間に到達することができます。これにより、従来のルーツポンプと比較してポンプダウン時間を約20%短縮します。 ルーツポンプを運転するためには、特定の用途に適したガス流量に調整された適切なバッキングポンプが必要です。 効率的な 革新的で摩耗のないIE4 ...

... SD版（ACP 15 / ACP 28 / ACP 40 このポンプは、クリーン（ダストフリー）で腐食性のないガスの送液を必要とする用途向けに設計されています。標準ポンプにはガスバラスト装置が装備されており、軽質ガスの送液性を向上させ、ポンプ内部での結露蒸気の発生を防ぎます。お客様のニーズに合わせて3種類のガスバラストオプションをご用意しています。 顧客価値 - ...

流量: 15 m³/h - 40 m³/h

... Gバージョン（ACP 15 / ACP 28 / ACP 40 Gバージョンポンプは微量の腐食性ガスに対応しています。パージラインに配置された3つのジェットは、微量の腐食性化学物質に耐え、低圧と高圧のボールベアリングを保護します。ボールベアリングを最適に保護するためには、技術資料に記載されている流量値に従って、中性ガスの圧力を0.3 bar（相対圧力）に設定する必要があります。 顧客価値 - 空冷：給水不要 - 周波数変換器：アワーメータ、リモート操作モード（RS-485、ドライ接点、プロフィバス ...

... CVバージョンでは、純水蒸気容量を1,000g/h（100mbar、周囲温度30℃）まで拡張できます。高流量のガスバラストがポンプを暖め、凝縮性ガスを希釈します（2 N.m3/h以上、1 bar abs.で33 slm以上）。外部排出可能なサイレンサーは、排気ステージの最下点から液体を回収します。ガスパージライン噴射装置は、リップシールとボールベアリングを凝縮性蒸気から保護するのに役立ちます。 顧客価値 - 空冷：給水不要 - ...

流量: 0 m³/h - 100 m³/h

... 100 Lのスタンダードバージョン 揚水速度100m3/hの小型軽量ドライポンプ 製品の説明 - ポンプには水冷回路が装備されています。 - 時間カウンターと3色のLEDは、フロントパネルにポンプの状態についての情報を提供します。 - インターフェイスコネクタ16ピンまたは19ピンは、ツールに向けて個別の入出力情報を提供します。 - オプションのRS232またはRS485シリアルインターフェイスは、制御および監視機能を提供します。 ...

流量: 0 m³/h - 100 m³/h

... 100 L ES 省エネバージョン 100 m3/hのポンプ速度と省エネオプションを備えた小型軽量ドライポンプ 製品の説明 - 統合された自動省エネモジュールは、消費電力を50%削減します。 - ポンプは水冷回路を搭載しています。 - 時間カウンターと3色のLEDは、フロントパネルにポンプの状態に関する情報を提供します。 - インターフェイスコネクタ16ピンまたは19ピンは、ツールに向けて個別の入出力情報を提供します。 - ...

流量: 110 m³/h

... G 多段式ルーツ技術をベースにしたACP 120 Gは、ドライ真空ポンプソリューションの製造における20年以上の経験の賜物です。ACP 120 Gポンプは、微粒子や油分の混入が問題となっている場合、クリーンでドライな真空のメリットをすべて提供します。1m3を超える大容量のチャンバーのポンプダウン用に特別バージョンもご用意しています。 アプリケーション - ...

流量: 600, 560 m³/h

... ACG 600 Gは、ドライ真空ポンプソリューションの製造における20年以上の経験から生まれました。ACG 600 G ポンプグループは、微粒子や油分の混入が問題となっている場合に、クリーンでドライな真空のメリットをすべて提供します。1m3を超える大容量のチャンバーのポンプダウン用に特別なバージョンも用意されています。 アプリケーション - ...

... アプリケーション - 半導体産業（エッチング、インプラント、PVD、.. - 太陽光発電 半導体産業用ドライポンプ A3Pシリーズのドライポンプは、実績のある多段式ルーツ技術をベースにしています。ポンプ内部は腐食性ガスに耐性があります。このため、中負荷のプロセスで高い信頼性を発揮します。シリーズの3つのモデルは、幅広い送液速度に対応しており、半導体産業における中負荷真空ポンプのほとんどの要件をカバーしています。A3Pシリーズはクリーンルームでの運転に適しており、CEおよびSemi ...

流量: 4,500 m³/h

... 最新のプロセスアプリケーションに対応した新しい高性能ドライポンプ 最も低い運転コストで最高のH2揚水速度を実現 ADHシリーズの最大の利点の一つは、プロセスステップ間でのチャンバーの高速排気を可能にする高速水素ポンプです。大きな流量公差との組み合わせにより、ADHポンプは最も要求の厳しいプロセス仕様に適しています。最適化された設計により、このレベルのポンプ性能では市場で最高の消費電力を提供します。 ...